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Entwicklung eines neuartigen elektrischen Rasterkraftmikroskopie-Tests zur quantitativen Bestimmung von Gleich- und Wechselspannungen bis über 100 GHz in integrierten mikroelektronischen Schaltungen

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Entwicklung eines neuartigen elektrischen Rasterkraftmikroskopie-Tests zur quantitativen Bestimmung von Gleich- und Wechselspannungen bis über 100 GHz in integrierten mikroelektronischen Schaltungen, Volker Wittpahl

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2000
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