Einfluss der Kristallinität von TiO(tief)2-Dünnschichten auf den photokatalytischen Stickstoffmonoxi
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In dieser Arbeit wurde die photokatalytische Depositionsgeschwindigkeit des Stickstoffmonoxid-Abbaus von mittels thermischer Atomlagenabscheidung abgeschiedenen Titandioxid-Photokatalysatoren evaluiert. Es wurden geeignete Prozessfenster zur Abscheidung von kristallinem Titandioxid identifiziert und die photokatalytische Wirksamkeit unter Berücksichtigung der kinetischen Modellierung bewertet. Photokatalysatoren werden als indirekte Maßnahme zur Verringerung von Umweltbelastungen eingesetzt. Durch die Absorption von Sonnenlicht erzeugen diese Materialien Elektron-Loch-Paare, die an der Oberfläche Oxidations- und Reduktionsreaktionen auslösen und organische sowie anorganische Schadstoffe mineralisieren. Um die wesentlichen Einflussparameter auf die photokatalytische NO-Oxidation zu verstehen, wurde die thermische Atomlagenabscheidung verwendet. Zur Identifikation geeigneter Prozessfenster kamen Präkursorkombinationen wie TiCl₄/H₂O, TiCl₄/O₃, TTIP/H₂O, TTIP/O₃ und TiCl₄/TTIP zum Einsatz, um deren Einfluss auf die Kristallinität und die photokatalytische Wirksamkeit der TiO₂-Dünnschichten sowie die Schichteigenschaften bei verschiedenen Temperaturen und Schichtdicken zu ermitteln. Zur Bewertung der Wirksamkeit wurde die Oxidation des Farbstoffs Methylenblau und der Abbau von Stickstoffmonoxid untersucht und hinsichtlich der jeweiligen kinetischen Modellierung verglichen.
