Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.2 Theoretische Grundlagen.3 Apparaturbeschreibung.4 Probensysteme und Meßablauf.5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.7 Zusammenfassung.Abbildungsverzeichnis.Tabellenverzeichnis.
