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Diese Dissertation untersucht den Einsatz alternativer, mehrmalig einsetzbarer Tiegel aus Siliziumnitrid (Si3N4) für die gerichtete Erstarrung von Silizium. Das Potential der Tiegel wird systematisch evaluiert, wobei die Untersuchungen auf die Benetzung der Tiegel durch das flüssige Silizium, auf deren Wiederverwendbarkeit sowie auf die Verunreinigung des Siliziums durch die Tiegel fokussiert sind.
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Nitridgebundenes Siliziumnitrid, Veronika Schneider
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- Rok vydania
- 2015
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