Untersuchungen über die Genauigkeit von Wegmesssystemen und Verfahren zur Messung der Geradlinigkeit von Schlittenbewegungen

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Inhaltsverzeichnis1. Einleitung.2. Untersuchungen über die Genauigkeit von Wegmeßsystemen.2.1 Laser-Interferometer als Längen-Vergleichsnormal.2.2 Aufbau und Funktionsweise des digitalen übertragungsfehler-Meßgerätes.2.3 Praktische Untersuchungen an Meßsystemen.3. Untersuchungen zur Messung der Abweichung von der Geradlinigkeit mit einem Laser-Strahl.3.1 Methoden und Verfahren zur Messung der Abweichung von der Geradlinigkeit bzw. Ebenheit.3.2 Das Laser-System zur Erzeugung des Laser-Strahls.3.3 Die Ausbreitung des Laser-Strahls und seine Beeinflussung.3.4 Strahldetektoren mit Ortsabhängigkeit.3.5 Elektrischer Aufbau des Empfängers.3.6 Anwendungsbezogene Messungen.3.7 Praktische Maschinen-Messungen.4. Zusammenfassung.Abbildungen.