Rutherford-Rückstreu-Analysen mit Protonen

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InhaltsverzeichnisZusammenfassung.I. Einleitung.II. Rutherford-Rückstreuung.1. Theoretische Grundlagen.2. Erklärung der Rückstreuspektren.3. Lineare Näherung für dünne Targets.4. Höhe des Energiespektrums.III. Experimenteller Aufbau.1. Allgemeine Bedingungen, Strahl und Streukammer.2. Meßelektronik.3. Elektrostatischer Analysator (ESA).IV. Spektrensimulation per Rechenmaschine.1. Programmbeschreibung.2. Schematische Gliederung des Programms.3. Berücksichtigung der Detektorauflösung.4. Simulation inhomogener Targets.V. Anwendungsbeispiele und Diskussion einiger Spektren.1. Dickenbestimmung dünner Folien.2. Dickenbestimmung von Oberflächenverunreinigungen.3. Analyse und Tiefenprofile dünner Schichten.4. Quantitative Analyse homogener Gemische.VI. Schlußbetrachtung.Bilderverzeichnis.